توضیحات
This book provides for the first time a good understanding of the etching profile technologies that do not disturb the plasma. Three types of sensors are introduced: on-wafer UV sensors, on-wafer charge-up sensors and on-wafer sheath-shape sensors in the plasma processing and prediction system of real etching profiles based on monitoring data. Readers are made familiar with these sensors, which can measure real plasma process surface conditions such as defect generations due to UV-irradiation, ion flight direction due to charge-up voltage in high-aspect ratio structures and ion sheath conditions at the plasma/surface interface. The plasma etching profile realistically predicted by a computer simulation based on output data from these sensors is described.
————————————————————–
ترجمه ماشینی :
این کتاب برای اولین بار درک خوبی از فناوریهای حکاکی نمایهای که پلاسما را مختل نمیکنند، ارائه میکند. سه نوع سنسور معرفی شدهاند: سنسورهای UV روی ویفر، سنسورهای شارژ روی ویفر و سنسورهای شکل غلاف روی ویفر در سیستم پردازش پلاسما و پیشبینی پروفایلهای اچ واقعی بر اساس دادههای نظارت. خوانندگان با این حسگرها آشنا می شوند، که می توانند شرایط واقعی سطح فرآیند پلاسما مانند تولید نقص ناشی از تابش اشعه ماوراء بنفش، جهت پرواز یون به دلیل ولتاژ شارژ در ساختارهای نسبت تصویر بالا و شرایط غلاف یونی در پلاسما/سطح را اندازه گیری کنند. رابط. نمایه حکاکی پلاسما که به طور واقع بینانه توسط یک شبیه سازی کامپیوتری بر اساس داده های خروجی از این حسگرها پیش بینی شده است، شرح داده شده است.
tag : دانلود کتاب تکامل مشخصات ویژگی در پردازش پلاسما با استفاده از سیستم نظارت بر روی ویفر , Download تکامل مشخصات ویژگی در پردازش پلاسما با استفاده از سیستم نظارت بر روی ویفر , دانلود تکامل مشخصات ویژگی در پردازش پلاسما با استفاده از سیستم نظارت بر روی ویفر , Download Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System Book , تکامل مشخصات ویژگی در پردازش پلاسما با استفاده از سیستم نظارت بر روی ویفر دانلود , buy تکامل مشخصات ویژگی در پردازش پلاسما با استفاده از سیستم نظارت بر روی ویفر , خرید کتاب تکامل مشخصات ویژگی در پردازش پلاسما با استفاده از سیستم نظارت بر روی ویفر , دانلود کتاب Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System , کتاب Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System , دانلود Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System , خرید Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System , خرید کتاب Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System ,
نقد و بررسیها
هنوز بررسیای ثبت نشده است.