توضیحات
Microelectromechanical systems (MEMS)-based sensors and actuators have become remarkably popular in the past few decades. Rapid advances have taken place in terms of both technologies and techniques of fabrication of MEMS structures. Wet chemicalbased silicon bulk micromachining continues to be a widely used technique for the fabrication of microstructures used in MEMS devices. Researchers all over the world have contributed significantly to the advancement of wet chemicalbased micromachining, from understanding the etching mechanism to exploring its application to the fabrication of simple to complex MEMS structures. In addition to its various benefits, one of the unique features of wet chemicalbased bulk micromachining is the ability to fabricate slanted sidewalls, such as 45 walls as micromirrors, as well as freestanding structures, such as cantilevers and diaphragms. This makes wet bulk micromachining necessary for the fabrication of structures for myriad applications.
This book provides a comprehensive understating of wet bulk micromachining for the fabrication of simple to advanced microstructures for various applications in MEMS. It includes introductory to advanced concepts and covers research on basic and advanced topics on wet chemicalbased silicon bulk micromachining. The book thus serves as an introductory textbook for undergraduate- and graduate-level students of physics, chemistry, electrical and electronic engineering, materials science, and engineering, as well as a comprehensive reference for researchers working or aspiring to work in the area of MEMS and for engineers working in microfabrication technology.
————————————————————–
ترجمه ماشینی :
حسگرها و محرکهای مبتنی بر سیستمهای میکروالکترومکانیکی (MEMS) در چند دهه گذشته بهطور چشمگیری محبوب شدهاند. پیشرفت های سریعی در زمینه فناوری و تکنیک های ساخت سازه های MEMS صورت گرفته است. ریزماشینکاری فله ای سیلیکونی مبتنی بر مواد شیمیایی مرطوب همچنان به عنوان یک تکنیک به طور گسترده مورد استفاده برای ساخت ریزساختارهای مورد استفاده در دستگاه های MEMS است. محققان در سراسر جهان کمک قابل توجهی به پیشرفت ریزماشینکاری مبتنی بر مواد شیمیایی مرطوب کردهاند، از درک مکانیسم اچینگ گرفته تا بررسی کاربرد آن در ساخت ساختارهای MEMS ساده تا پیچیده. علاوه بر مزایای مختلف، یکی از ویژگیهای منحصربهفرد میکروماشینکاری فلهای مبتنی بر مواد شیمیایی مرطوب، توانایی ساخت دیوارههای جانبی اریب مانند 45 دیوار بهعنوان میکروآینه و همچنین سازههای مستقل مانند کنسولها و دیافراگمها است. این امر ریزماشینکاری حجیم مرطوب را برای ساخت سازه ها برای کاربردهای بی شمار ضروری می کند.
این کتاب درک کاملی از ریزماشینکاری حجیم مرطوب برای ساخت ریزساختارهای ساده تا پیشرفته برای کاربردهای مختلف ارائه می دهد. در MEMS این شامل مقدماتی بر مفاهیم پیشرفته است و تحقیقات در مورد موضوعات اساسی و پیشرفته در مورد ریزماشینکاری فله سیلیکون مبتنی بر مواد شیمیایی مرطوب را پوشش می دهد. بنابراین، این کتاب به عنوان یک کتاب درسی مقدماتی برای دانشجویان مقطع کارشناسی و کارشناسی ارشد در رشته های فیزیک، شیمی، مهندسی برق و الکترونیک، علم مواد و مهندسی، و همچنین مرجعی جامع برای محققانی است که در زمینه MEMS کار می کنند یا مشتاق کار هستند. و برای مهندسانی که در فناوری ساخت میکروساخت کار می کنند.
tag : دانلود کتاب میکروماشینکاری فله مرطوب سیلیکونی برای مم , Download میکروماشینکاری فله مرطوب سیلیکونی برای مم , دانلود میکروماشینکاری فله مرطوب سیلیکونی برای مم , Download Silicon wet bulk micromachining for mems Book , میکروماشینکاری فله مرطوب سیلیکونی برای مم دانلود , buy میکروماشینکاری فله مرطوب سیلیکونی برای مم , خرید کتاب میکروماشینکاری فله مرطوب سیلیکونی برای مم , دانلود کتاب Silicon wet bulk micromachining for mems , کتاب Silicon wet bulk micromachining for mems , دانلود Silicon wet bulk micromachining for mems , خرید Silicon wet bulk micromachining for mems , خرید کتاب Silicon wet bulk micromachining for mems ,
نقد و بررسیها
هنوز بررسیای ثبت نشده است.