دانلود کتاب Advanced MEMS/NEMS Fabrication and Sensors – ساخت و سنسورهای پیشرفته MEMS/NEMS

This book begins by introducing new and unique fabrication, micromachining, and integration manufacturing methods for MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) and NEMS (Nano-Electro-Mechanical Systems) devices, as well as novel nanomaterials for sensor fabrications. The second section focuses on novel sensors based on these emerging MEMS/NEMS fabrication methods, and their related applications in industrial, biomedical, and environmental monitoring fields, which makes up the sensing layer (or perception layer) in IoT architecture. This authoritative guide offers graduate students, postgraduates, researchers, and practicing engineers with state-of-the-art processes and cutting-edge technologies on MEMS /NEMS, micro- and nanomachining, and microsensors, addressing progress in the field and prospects for future development.

• Presents latest international research on MEMS/NEMS fabrication technologies and novel micro/nano sensors;
• Covers a broad spectrum of sensor applications;
• Written by leading experts in the field.

این کتاب با معرفی روش‌های جدید و منحصر به فرد ساخت، ریزماشین کاری و ساخت یکپارچه برای دستگاه‌های MEMS (سیستم‌های میکرو الکترومکانیکی) و NEMS (سیستم‌های نانو الکترومکانیکی) و همچنین شروع می‌شود. نانومواد جدید برای ساخت حسگرها بخش دوم بر حسگرهای جدید مبتنی بر این روش‌های ساخت MEMS/NEMS نوظهور و کاربردهای مرتبط با آن‌ها در زمینه‌های نظارت صنعتی، زیست‌پزشکی و محیطی تمرکز دارد که لایه حسگر (یا لایه درک) را در معماری اینترنت اشیا تشکیل می‌دهد. این راهنمای معتبر به دانشجویان فارغ التحصیل، فارغ التحصیلان، پژوهشگران و مهندسان مجرب با پیشرفته ترین فرآیندها و فناوری های پیشرفته در زمینه MEMS/NEMS، میکرو و نانوماشین کاری و میکروحسگرها ارائه می دهد که به پیشرفت در این زمینه و چشم انداز آینده می پردازد. توسعه.

• آخرین تحقیقات بین المللی را در مورد فناوری های ساخت MEMS/NEMS و حسگرهای جدید میکرو/نانو ارائه می دهد؛
• طیف وسیعی از کاربردهای حسگر را پوشش می دهد.
• نوشته شده توسط کارشناسان برجسته در این زمینه.